设备优势

• 功能（néng）性能优势

  当前（qián）业（yè）内最（zuì）高性（xìng）能（néng），
  每小时（shí）出（chū）片量（WPH）超过（guò）16000，远高于行业10000～12000的平均水平
  检测（cè）量测精度达到0.8um
  碎片率稳定低于0.05%
  漏检率<0.1%，过杀率< 0.05%

• 机电优势

  上料（liào）：两套缓存机构无缝衔接上料；兼容多尺寸花篮 下料（liào）：采用（yòng）伯努利悬浮式下料装置，保障极低的（de）碎片率；并（bìng）行多组独立（lì）下料装置；下料盒无缝切（qiē）换
  电气优势：实时监控物料，提示报警信息，定位问题工位；各工位独（dú）立控（kòng）制（zhì），精准调控

  
• 检测优势

  多工位检测硅片四周崩边（biān）及表面缺陷，采用识别硅（guī）材质的深度学习模型，高精度完成检测

  
• 量测优势

  上下双线扫相（xiàng）机（jī）精准（zhǔn）识别（bié）厚度（dù）、平（píng）面度和线痕
  在检测阶（jiē）段（duàn）提前剔除隐裂和碎片，减（jiǎn）少后（hòu）续下料分拣负担